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    高純氣體輸送系統


    高純氣體輸送系統

    高純氣體輸送系統

    在泛半導體產業的刻蝕、擴散、離子注入、薄膜沉積和黃光工藝等關鍵制程環節都需要使用各種超高純氣體,由于超高純氣體在生產過程中與產品直接接觸,因此超高純氣體輸送系統是集成電路、平板顯示、半導體照明、太陽能光伏和光纖制造等泛半導體行業中最關鍵的廠務系統之一。


    如何避免輸送過程中系統對超高純氣體的二次污染便成為超高純氣體輸送系統的首要考量。另外,泛半導體行業所使用的各類特殊氣體通常具有易燃、易爆、劇毒、腐蝕、窒息等各種危險特性。同時,由于泛半導體行業工藝復雜先進,對超高純氣體的質量保障和系統穩定運行提出了嚴苛的要求。因此,在超高純氣體輸送系統的設計、安裝和運行過程中需要充分考慮潔凈度、安全性、穩定性等關鍵因素。


    高純氣體系統


                因此,超高純氣體輸送系統在系統開機調試之前必須通過保壓測試、氦檢漏測試、水分增量測試、氧分增量測試、顆粒度增量測試來保證系統的高潔凈度和高安全度。

                   超高純氣體輸送系統整體解決方案包括:

    l  大宗氣體供應系統;

    l  特殊氣體供應系統;

    l  純化器系統;

    l  在線氣體品質監控系統;

    l  氣體泄露偵測系統;

    l  氣體設備運行管理系統;

    l  尾氣處理系統;

    l  氣體供應管路系統和二次配工程;

    l  氣體系統駐廠運行服務。

                   興鼎公司的氣體輸送系列工程從氣源到使用點,再到尾氣處理,從而實現安全穩定、無污染、滿足工藝制程要求的供應,環保達標排放;從設計、制造、現場安裝調試到運行管理和維護保養等。

    【高純氣體輸送系統推薦】

    【本文標簽】:高純氣體輸送系統 半導體廠務系統 潔凈室工程
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